等離子噴涂是指通過在設備配件表面進行特殊涂層處理，是穩(wěn)定工藝條件和延長產品壽命的必需工藝。 提供更符合客戶工藝的各種涂層技術，抑制顆粒的發(fā)生和表面損傷，穩(wěn)定機室的條件，從而延長 產品的壽命、提高生產率和開工率，為節(jié)約客戶的成本做貢獻。
通過鋁（AI）和氧氣（O）的電氣化學反應，在鋁表面形成牢固的氧化鋁被膜（Al2O3）的技術。
利用熱熔化涂層物質，噴射于配件表面以形成涂層膜的技術。
等離子噴涂技術可以按照涂層工藝和物性區(qū)分，為了應對客戶公司的10nm 以下的新一代技術， 我司不斷地研發(fā)獨家的涂層技術
| 類別 | 等離子噴涂 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Y203 | FineCera? | SF? | ||||
| 使用目的 | 通過為半導體配件賦予等離子抵抗特征， 控制顆粒的發(fā)生和實現工藝穩(wěn)定化 |
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| 主要特征 | 等離子耐抵抗特征優(yōu)秀 | 通過工藝反應控制顆粒的發(fā)生 | 通過減少工藝氣 體和涂層間的反 應控制工藝變化 |
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| Hardness(Hv) | 400 ~ 450 | 300 ~ 350 | 350 ~ 450 | |||
| 體積抵抗(Ωcm) | E+11~12 | E+10~11 | E+10~11 | |||
| 開工率(%) | 3 ~ 5 | < 2 | < 3 | |||
| 截面圖 |  |
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| 類別 | 熔射 | ||
|---|---|---|---|
| ARC | SurfTex-1 | SurfTex-2 | |
| 使用目的 | 通過提高母材與Arc coating 面之間的Adhesion 以提高顆粒控制效果 | ||
| 主要特點 | 引導Byproduct 穩(wěn)定Depo. | Particle 和Peel off 控制效果通 | 通過形成Pattern以增加污染物Depo， 從而延長P.M 周期 |
| Adhesion(Mpa) | 15 ~ 18 | > 27 | - |
| Bare 對比 表面積增加率（%） |
2% | - | 12% |
| 圖片 |  |
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| 類別 | 兩極氧化 | |
|---|---|---|
| 硫酸氧化 | 草酸氧化 | |
| 等離子噴涂使用目的 | 為半導體配件賦予絕緣功能，保護外觀 | |
| 等離子噴涂主要特點 | 硬度、耐絕緣性優(yōu)秀 | 耐蝕性優(yōu)秀 |
| 硬度（Hv） | 400~500 | 350~400 |
| 體積抵抗（Ωcm） | E+9 ~ 10 | E+9 ~ 10 |
| 圖片 |  |
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